HIPIMS是高功率脈沖磁控濺射技術(shù)(High power impulse magnetron sputtering)的簡(jiǎn)稱(chēng),其原理是利用較高的脈沖峰值功率和較低的脈沖占空比來(lái)產(chǎn)生高濺射金屬離化率的一種磁控濺射技術(shù)。
HiPIMS-400A 是由新鉑科技打造的一款適用于高校鍍膜實(shí)驗(yàn)需求的真空鍍膜電源,可直流+脈沖組合輸出,脈沖峰值電流高,具有高離化率,放電密度大、粒子能量高、反應(yīng)活性好。可作為直流磁控濺射電源的升級(jí)替代方案,無(wú)需改動(dòng)即可用于現(xiàn)有磁控系統(tǒng)??垢g、耐磨損的硬質(zhì)鍍膜工藝中,高功率脈沖磁控濺射應(yīng)用是首選。
產(chǎn)品特點(diǎn):
多波形設(shè)置,具有反向抑弧能力,膜層更細(xì)膩。
特別適合于高校PVD創(chuàng)新工藝的多波形設(shè)定。
可手機(jī)遠(yuǎn)程監(jiān)視和控制,調(diào)節(jié)各種參數(shù),遠(yuǎn)程關(guān)閉電源,監(jiān)控電源運(yùn)行情況。
畫(huà)面完全同步,指令反饋迅速且精準(zhǔn)。走路、吃飯均可控之方便,甚至實(shí)驗(yàn)中途去洗手間也會(huì)更從容。
型號(hào) | HiPIMS-400A |
峰值電流 | 400A |
輸出電壓 | 200~1000V |
脈寬范圍 | 10~500uS |
頻率范圍 | 100~2500Hz |
峰值功率 | 400kW |
平均功率 | 脈沖20kW+ 直流10kW |
冷卻方式 | 風(fēng)冷 |
輸入電源 | AC380V30kW 三相四線 |
外控通訊 | RS485 |
尺寸 | 500*370*600mm |
重量 | 50kg |